شناسايي بخار و يا ذرات گاز در اتمسفر و يا گازهاي پروسه شده با استفاده از سنسورهاي گاز قابل حمل و كوچك كه قادر باشند آناليت را در زمان مناسب و با بازده خوب شناسايي كنند در ارتباط با آلودگي هاي محيطي رديابي خروجي هاي صنعتي و كنترل پروسه ها تشخيص پزشكي امنيت عمومي كشاورزي و صنايع گوناگون از مسائل مهم مي باشد. همانگونه كه در بالا ذكر شد SWNT كاملا تركيبي از اتم هاي سطحي مي باشد كه براي شناسايي الكتريكي مستقيم بخارات شيميايي گزينه اي ايده آل مي باشد كه SWNT هم به عنوان ماده حساس و ماده انتقال دهنده سيگنال عمل مي كند. اولين مقاله كه در سال 2000 چاپ شد پتانسيل زيادي را براي SWNT به عنوان كاربرد سنسور گاز نشان داد. در اين مقاله Kong در دانشگاه Stanford مشاهده كرد كه يك SWNT به عنوان كانال ترانزيستور بين الكترودهاي طلا به كار برده شده اند و بر روي بستر SiO2/Si كه ساختار گيت پشتي مي باشد قرار داده شده با مولكول هاي گاز واكنش داده كه موجب تغيير مشخصه هاي انتقالي SWNT مي گردد. اين كار منجر به توسعه كارهاي عملي و تئوري گرديد. تا امروز استقبال زيادي براي ساخت SWNT صورت گرفته است كه حساسيت نسبت به گازهاي مثل NH3,NO2,CH4,CO,SO2,H2S,O2 الكل از خود نشان دهد. اگر چه استفاده از CNT خام به عنوان ماده حساس عموما نسبت به گاز خاصي اختصاصي نمي باشد و نممي توان حساسيت بالايي نسبت به آناليت هاي خاص به دست آورد. اين كمبود را مي توان با استفاده از تابعي سازي با مواد حساس به آناليت خاص جبران نمود.

سنسورهاي موج صوتي سطحي تاكنون به طور گسترده اي بررسي شده اند و مزيت آنها در خصوص شناسايي تراكم گازها و يا بخارات سمي در محيط هاي آبي و گازي اثبات شده است. اگر سطح سنسور SAW با ماده اي پوشانده شود كه نسبت به گاز خاصي قابليت گزينشي داشته باشد انتظار داريم خروجي سنسور با ميزان گاز ورودي تغيير كند. از سنسورهاي SAW به ميزان گسترده در صنايع مخابراتي كنترل از راه دور سيستم هخاي كنترل شرايط محيطي (رطوبت، حرارت، فشار هوا) سيستم هاي كنترل پارامترهاي فيزيكي (فشار ، تنش ، سرعت و شتاب) و آشكارسازهاي شيميايي استفاده مي گردد ويژگي خاص اين سنسورها استفاده از خاصيت پيزوالكتريك مواد زير لايه مي باشد. موج صوتي سطحي براي اولين بار توسط Lord Rayleigh تشريح گرديد. مشهورترين يمواد پيزوالكتريك كوارتز SiO2 ليتيوم تانتاليت LiTaO3 و به نسبت كمتر ليتيوم نيوبيت LiNbO3 مي باشد. وارد كردن يك ميدان الكتريكي به ماده پيزوالكتريك باعث ايجاد يك تنش مكانيكي مي گردد. در يك كريستال بارهاي الكتريكي مثبت و مفي از يكديگر جدا هستند ليكن به طور متقارن توزيع شده اند بطوريكه از نظر الكتريكي خنثي هستند. با ايجاد يك تنش اين تقارن به هم مي خورد و عدم تقارن خصوصيات الكتريكي پيزو الكتريك را تغيير خواهد داد. هر سنسور شامل يك كريستال پيزو الكتريك دو الكترود و يك پوشش SWCNT تابعي شده با نانو ذرات مس مي باشد. در اين كار ما از كريستال پيزوالكتريك ليتيوم نيوبايت LiNbO3 با ابعاد 1*2cm و ضخامت 0/8cm استفاده كرده ايم. امواج SAW در اينگونه سنسورها از نوع Rayleigh مي باشد. بلندي اين امواج در حد صدم ميكرون مي باشد. لذا براي انتشار و دريافت امواج ضروري است تا سطح پوليش تا حدود 100A دقت داشته باشد. در غير اينصورت در IDT سمت بار امواج به طور كامل دريافت نمي شوند و علاوه بر آن اين روزنه ها در پروسه هاي ليتوگرافي و زدايش بزرگتر نيز مي شوند كه موجب مي گردد IDT ورودي و بار كيفيت خوبي نداشته باشند. با توجه به اينكه سرعت موج در ليتيوم نيوبايت را مي دانيم مي توانيم فركانس مركزي را اينگونه حساب كنيم. ؟؟تعداد شانه ها 50 جفت در هر طرف در نظر گرفته شد و با توجه به طول آكوستيك ؟؟ فاصله بين الكترودها ؟؟ و اندازه هر IDT 4mm به دست مي آيد. زير لايه كوارتز با محلول lotion (بيكرونات پتاسيم + اسيد سولفوريك) و سپس آب DI شستشو داده مي شود. پس از آن محلول استن و الكل و آب DI فراوان به همراه مرحله خشك كردن در آون 40C مورد استفاده قرار گرفت. سپس پروسه فلز نشاني آلومينيوم با استفاده از دستگاه Balzer و با ضخامت 2000A انجام مي پذيرد. داشتن سطحي تميز كمك مي كند كه لايه آلومينيوم به صورت يكنواخت شكل گرفته و هيچگونه فضاي خالي نيز نداشته باشيم. سپس جهت ايجاد IDT بار و ورودي از پروسه فلز نشاني متداول با دستگاه MJB3 با منبع UV استفاده مي كنيم كه همراه با زدايش فلز آلومينيوم در انتها مي باشد. در اين اختراع طراحي و ساخت يك سنسور SAW با لايه حساس از اتصال ناهمگون كربن نانو تيوب تك ديواره نانو ذرات مس براي شناسايي گاز H2S را گزاش نمموديم . سنسورهاي SAW از يك زير لايه پيزوالكتريك ساخته مي شود كه زير لايه مورد استفاده در اين تحقيق LiNbO3 مي باشد. نانو ذرات مس را با پروسه احياي شيميايي بر روي كربن نانو تيوب تك ديواره قرار داديم و با تست هاي SEM,EDX,XRD قرارگيري نانو ذرات مس را بر روي SWCNT تاييد نموديم. در اين اختراع براي اولين بار از لايه حساس نانو كامپوزيت در سنسورهاي SAW جهت شناسايي گاز H2S استفاده نموديم. مبناي به كار بردن اين ماده وابستگي شيفت فركانسي به تغيير در رسانش صفحه اي لايه حساس مي باشد. نتايج پاسخ سريع سنسور در فركانس 40MHz را براي شناسايي گاز H2S نشان مي دهد. جهت بررسي اثرات دمايي بر پاسخ سنسور SAW پاسخ سنسور در 5 دماي مختلف از 25 درجه تا 125 درجه سانتي گراد در تراكم هاي مختلف اندازه گيري شد و مشخص گرديد با توجه كاهش سرعت پخش در دماهاي بالاتر انتظار كاهش شيفت فركانسي را داريم كه نتايج نيز آنرا تاييد مي كند.